Микроболометр

Микроболометр — миниатюрный болометр размером в десятки микрометров, из которых собирается тепловизионная матрица. Каждый элемент — это мостик, подвешенный над подложкой, с тонким слоем материала, сопротивление которого меняется от нагрева.

Подвес над кремниевой схемой нужен для теплоизоляции: элемент должен нагреваться от излучения объекта, а не от корпуса. Поэтому матрицу помещают в вакуумный корпус, а перед ней ставят объектив из прозрачного для тепла материала, обычно германия.

Чувствительный слой делают из оксида ванадия или аморфного кремния. Шаг пикселя у современных матриц — 12 или 17 мкм: чем он меньше, тем компактнее объектив при той же дальности.

Микроболометры работают без криогенного охлаждения, отсюда и название — неохлаждаемая матрица. Именно они стоят в большинстве охранных и измерительных тепловизоров.

Термин из глоссария видеонаблюдения ProDahua — категория «Тепловидение».